上海光源800毫米大尺寸高精度X射线平面反射镜自主研制取得重大突破
打印作为同步辐射光束线核心部件之一，反射镜担负着对X射线进行准直、聚焦、偏转的重要作用，是影响光束线光斑尺寸、通量、分辨率等品质的关键因素。当前国内外同步辐射光源所用的同类反射镜，只有欧美日少数几个公司具有商业化生产能力，国内全部依赖进口。近期，上海光源关键技术的研制再传捷报，同步辐射光束线大尺寸高精度X射线平面反射镜自主研制取得突破性进展。
2022年10月，上海光源光学组经过一年多的努力，采用国产单晶硅基底材料，利用国产高精度抛光设备结合自行研制的检测仪器，成功研制出全长800mm，光学有效长度600mm的大尺寸高精度X射线平面反射镜，表面斜率误差达到0.20mrad(RMS)，表面粗糙度0.34nm(RMS)，达到工程验收指标，测试结果表明各项参数指标已达到国际先进水平。该平面反射镜的研制成功打破了长期以来大口径X射线光学元件国产化中的技术瓶颈，标志着国产同步辐射光束线核心光学元件已进入实用化阶段，同时为解决自由电子激光及第四代同步辐射光源等面形误差PV值小于2nm，表面粗糙度0.2nm(RMS)等技术参数更先进的极高端光学元件卡脖子问题打下了基础。
大尺寸高精度平面反射镜检测中
大尺寸平面反射镜斜率误差检测结果
大尺寸平面反射镜表面粗糙度检测结果
