集成电路技术服务平台位于高研院海科路99号1号楼3楼，平台拥有科研设备36台套，总价值3764.77万元，其中50万以上设备24台套，总价值3394.47万元。另有功能软件13套,总价值559.78万元。本平台整合设备主要来自城市公共安全研究中心和新媒体无线技术研究中心。

集成电路技术服务平台为智慧城市关键技术研究提供技术支持和服务，服务于高研院“十三五”规划的重大突破之“智慧城市关键技术及应用”和“一体化信息融合网络”等。平台主要包括集成电路器件测试和测量系统、集成电路器件模型研究和提取系统等。将芯片与系统的开发紧密结合，按照设计、验证、制造、封装、测试、可靠性、应用验证等长链条方式进行一体化组织和管理，达到系统快速开发的目的。

本平台能适用于特种集成电路工艺，基于模型化的仿真设计，完成产品工艺/器件开发，产品设计和制造。对集成电路器件直流电流最小fA量级到最高1A、电压最小uV量级到最高200V、最小电容fF量级的在片测试能力。对集成电路器件温度测量最小15K量级到最高400K量级的在片测试能力。对微纳集成电路器件覆盖国标、军标高低温度范围的直流和交流小信号特性测试能力；对微纳半导体器件进行1/f噪声，S参数等测试能力。